日本科赋乐微小流量质量流量计
应用于多个oem设备场合，尤其适合微小流量测量。
日本科赋乐微小流量质量流量计 产品详情
日本科赋乐微小流量质量流量计
日本kofloc3100系列质量流量计-微小流量
应用于多个oem设备场合，尤其适合微小流量测量
适用于燃气低压力、泄漏测试的低流量、半导体等使用
±15vdc供电性能稳定，0-5v模拟信号更加通用
可定制0.02-1sccm微小流量
日本科赋乐微小流量质量流量计
量程(n2)
1sccm-20slpm、小0.02-1sccm
精度
±1.0%fs
重复性
±0.2%fs
响应时间
1秒以内
耐压
1.0mpa
进口大压力
o.5mpa
泄漏率
1*10-8pa·m³/s以下
温度范围
5-45℃
湿度范围
10-90%rh(不能结露)
材质
本体sus316l
密封圈nbr、ptfe、fkm等
电气接口
db9
模拟信号
0-5v输出
供电
+15vdc(±5%)100ma；-15vdc(±5%)100ma；
管路连接
标配1/4f9
选配1/8f9、1/4ujr、rc1/4
重量
约800g