控制室

W 23.6 in，H 66.9 in，D 31.4 in

Chamber：

W 14.1 in，H 5.9 in，D 10.2 in

房间卷

Approx.30 liters

天然气供应

2 Gas channels via MFCS

发生器

清洁剂Tetra-30-LF-PC

技术数据

控制柜：

宽31.5英寸，高23.6英寸，深19.7英寸

腔室：

宽9.4英寸，高5.9英寸，

深9.4英寸

腔室容积：

约30升

供气：

通过MFC的1个气体通道

清洁剂Tetra-100-LF-PC

技术数据

控制柜：

宽78.7英寸，高86.6英寸，

深78.7英寸

腔室：

宽27.5英寸，高7.9英寸，

深27.5英寸

腔室容积：

约100升

供气：

通过MFC的3个气体通道

清洁剂Tetra-120-LF-PC

技术数据：

控制柜：

宽23.6英寸，高84.6英寸，深39.4英寸

腔室：

宽47.2英寸，高5.9英寸，深66.9英寸

腔室容积：

约120升

供气：

通过MFC的4个气体通道

清洁剂Tetra-130-LF-PC

技术数据：控制柜：

宽70.8英寸，高82.7英寸，

深51.2英寸

腔室：宽15.7英寸，

高15.7英寸，深31.9英寸

腔室容积：约130升

供气：通过MFCs、

单体分散器的3个气体通道

清洁剂Tetra-140-LF

技术数据：控制柜：

宽23.6英寸，高82.7英寸，

深25.6英寸

腔室：宽47.2英寸，高27.5英寸，

深59英寸

腔室容积：约140升

供气：通过MFC的3个气体通道

清洁剂Tetra-140-LF-PC

技术数据：控制柜：

宽39.4英寸，高70.8英寸，

深39.4英寸

腔室：宽39.4英寸，高3.9英寸，

深39.4英寸

腔室容积：约140升

供气：通过MFCs的2个气

体通道，用于等离子体聚

合的液体单体分散器

清洁剂Tetra-150-LF-PC

技术数据：控制柜：

宽39.4英寸，高82.7英寸，

深39.4英寸

腔室：

宽15.7英寸，高23.6英寸，

深24.6英寸

腔室容积：约150升

供气：通过MFC的2个气体通道

控制室

W 23.6 in，H 66.9 in，D 126 in

Chamber：

W 12 in，H 11.8 in，D 102.4 in

房间卷

Approx.240 liters

天然气供应

3 Gas channels via MFCS

技术数据：控制柜：

宽98.4英寸，高86.6英寸，

深39.4英寸、腔室：

宽25.6英寸，高19.7英寸，

深31.5英寸、腔室容积：

约260升、供气：

通过MFC的2个气体通道

技术数据：控制柜：

宽23.6英寸，高82.7英寸，

深31.5英寸腔室：宽23.6英寸，

高14.2英寸，深74.8英寸

腔室容积：约375升供气：

通过MFC的2个气体通道

清洁剂Tetra-400-LF-PC

技术数据：控制柜：

宽23.6英寸，高82.7英寸，

深25.6英寸腔室：宽29.5英寸，

高31.5英寸，深29.5英寸腔室容积：

约400升供气：通过MFC的3

个气体通道